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Summary:

獨有的 MTI 電容傳感器，具有出色的準確性和可重復(fù)性

完整的 1000 μm 厚度測量范圍，無需重新校準

測量厚度、TTV、弓形、翹曲和位置以及整體平整度

Windows? 用戶界面

ASTM 標準測量

SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)設(shè)計

SEMI S8-0999 符合人體工程學(xué)的設(shè)計

測量所有材料，包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC

Proforma 300iSA產(chǎn)品資料

自動型Proforma 300iSA