自動型Proforma 300iSA
Summary:
獨有的 MTI 電容傳感器,具有出色的準確性和可重復(fù)性
完整的 1000 μm 厚度測量范圍,無需重新校準
測量厚度、TTV、弓形、翹曲和位置以及整體平整度
Windows? 用戶界面
ASTM 標準測量
SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)設(shè)計
SEMI S8-0999 符合人體工程學(xué)的設(shè)計
測量所有材料,包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC
Summary:
獨有的 MTI 電容傳感器,具有出色的準確性和可重復(fù)性
完整的 1000 μm 厚度測量范圍,無需重新校準
測量厚度、TTV、弓形、翹曲和位置以及整體平整度
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ASTM 標準測量
SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)設(shè)計
SEMI S8-0999 符合人體工程學(xué)的設(shè)計
測量所有材料,包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC